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一个月后,中微与南大光电联合实验室正式揭牌。这是星城半导体创新中心成立后的第一个重大项目,李一凡特意参加了揭牌仪式。
“这个实验室的使命很明确。”李一凡在讲话中说,“就是要通过光刻机和光刻胶的良好创新,在28nm制程上实现技术突破。这不仅关系到企业的发展,更关系到整个产业链的自主可控。”
威廉姆斯博士和王立新作为联合实验室的双主任,详细介绍了目前的研发进展。
“光学系统已经完成初步设计。”威廉姆斯调出了一组数据,“在分辨率、精度等关键指标上都达到了28nm制程的基本要求。现在的难点是稳定性,这需要配合光刻胶的特性进行优化。”
“我们也取得了重要进展。”王立新说,“最新研发的光刻胶在几个关键指标上都突破了:感光度提升了30%,线宽均匀性控制在2nm以内,这些都是达到28nm制程要求的基础。”
领导陈启明问道:“两个团队怎么配合?”
“我们采用双组长制。”威廉姆斯解释说,“每一个课题都由光刻机和光刻胶团队的专家共同负责。比如在光学系统优化时,光刻胶团队就提供了很多关键参数,帮助我们调整光路设计。”
“反过来也是。”王立新补充道,“光刻机团队的光强分配数据,指导我们优化光刻胶配方。这种良好的创新模式效果很好。”
李一凡对这种合作方式很满意。他清楚地记得以前世界上很多企业各自为战,导致技术创新效率低下。现在有了省里500亿的支持,正好可以推动产业和谐。
“人才团队组建得怎么样?”他问道。
“目前联合实验室有120人。”威廉姆斯说,“其中博士32人,包括5位海归专家。但在某些关键岗位还存在缺口,比如光学系统设计、材料界面控制等领域的高端人才。”
市委组织部长何国庆立即表态:“人才引进要特事特办。对急需的专家,可以启动‘一事一议’。待遇政策对比,关键是解决他们的后顾之忧。”
“已经在行动了。”市人社局局长杨国强说,“我们在硅谷、东京等地设立了招才引智工作站。目前正在和几位顶尖专家接洽,其中包括三名日本光刻机领域的资深工程师。”
“人才建设也要跟上。”市住建局局长汇报,“专家公寓一期工程年底交付,可提供200套高品质保障。国际学校持续加紧建设,明年秋季能如期开学。”
这个时候中微公司的技术团队传来了一个好消息:光学系统的核心部件已经加工,性能测试达到预期。这意味着28nm光刻机的工程样机有望提前完成。
“具体什么时候能出工程机?”李一凡问道。
“按照目前的进度,明年一季度末就能完成。”威廉姆斯说,“比原计划提前了三个月。这主要得益于光刻胶团队的配合,他们提供的测试数据帮助我们节省了大量调试时间。”
“工程机提前完成是个好消息,”王立新说,“我们的光刻胶轮转速也加快了。目前对28nm制程的光刻胶已经进行了第三次优化,核心指标非常稳定。”
“详细讲述优化的结果。”李一凡对这些技术细节很感兴趣。
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